a、 電阻率/電導率（反映無機離子濃度）

b、 易氧化物/總有機碳（反映有機物濃度）

c、 蒸發殘渣/不溶性硅（反映不溶性顆粒濃度）

d、 可溶性硅（半導體行業比較重視）

e、 微生物限度（微生物大多的是由管道、容器中產生）

蒸餾水是指用蒸餾方法制備的純水。利用水中各組分揮發度的差別，不揮發的組分殘留在容器中被除去，揮發的組分進入蒸餾水的初始餾分中，通常只收集餾分的中間部分，約占60％。經過一次蒸餾得到的水，含鹽量一般在1～5mg/L左右（電阻率0.1MΩ•cm左右），雖然那些不揮發的組分（鹽類）被除去，但水中揮發的組分（氨、二氧化碳、有機物）還是會進入蒸餾水中。所以要得到更純的水：

a、可在蒸餾前加入堿性高錳酸鉀溶液，除去有機物和二氧化碳。

b、可在蒸餾前加入非揮發性的酸，使氨成為不揮發的銨鹽。

c、使用石英蒸餾器皿進行二次（雙蒸水）或多次蒸餾，將所得純水保存在石英或銀制容器內。

DI水是去離子水的縮寫，指除去了呈離子形式雜質后的純水。國際標準化組織ISO/TC 147規定的“去離子"定義為：“去離子水wan全或不wan全地去除離子物質，主要指采用離子交換樹脂處理方法。"

離子交換樹脂處理方法就是將水通過陽離子交換樹脂（常用的為苯乙烯型強酸性陽離子交換樹脂），則水中的陽離子被樹脂所吸收，樹脂上的陽離子H⁺被置換到水中，并和水中的陽離子組成相應的無機酸；含此種無機酸的水再通過陰離子交換樹脂（常用的為苯乙烯型強堿性陰離子）OH^-被置換到水中，并和水中的H⁺結合成水，此即去離子水。

單純應用離子交換樹脂處理法雖然可去除水中的陰陽離子，但水中仍然存在可溶性的有機物，會污染離子交換柱從而降低其功效，去離子水存放后也容易滋生細菌。現在的工藝主要采用RO反滲透法、紫外氧化法等方法結合離子交換樹脂法的方式來提純水質，Watbule Q11超純水機就是應用了這一技術。

去離子水一般應用于在半導體行業中，電阻率需大于0.5 MΩ·cm；而電阻率達到18MΩ•cm的去離子水被稱為“超純水"或是“18兆歐水"。Watbule Q系列超純水機所產超純水電阻率可以高達18.2MΩ•cm。

RO水是反滲透水縮寫，其生成的原理是水分子在壓力的作用下，通過反滲透膜成為純水，水中的雜質被反滲透膜截留排出。

反滲水克服了蒸餾水和去離子水的許多缺點，利用反滲透技術可以有效的去除水中的溶解鹽、膠體，細菌、病毒、細菌內毒素和大部分有機物等雜質，但不同廠家生產的反滲透膜對反滲水的質量影響很大。

RO水的水質沒有明確規定，它取決于RO膜的脫鹽率。對于脫鹽率，在膜元件制造成形時就已確定，脫鹽率的高低取決于膜元件表面超薄脫鹽層的致密度，脫鹽層越致密脫鹽率越高，同時產水量越低。一般工業RO膜脫鹽率可以達到99.5%，而家用機RO膜脫鹽率一般在85%到90%之間，有的甚至低。

月旭科技的Watbule Q11就具有RO水制備功能，且脫鹽率也高于95%，標配的水箱可儲備10升RO水，除了可以滿足客戶日常實驗用水之外，還可以作為原料水再經高純化柱和超純化柱制備超純水。

說到這里，相信大家對于蒸餾水、DI水、RO水的概念已經有了新的認識，對于Watbule Q系列超純水機的功能也有了進一步了解。